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[재료工學(공학) ] 그라핀(graphene)의 증착과 미세구조 觀察(관찰)

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작성일 22-09-20 09:40

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순서
레포트/공학기술



1. 서 론

2. theory 적 배경
2-1. 그라핀 (Graphene)
2-2. PECVD
2-3. SEM (Scannring Electron Microscope)
2-4. 라만 분광기 (Raman spectroscopy)

3. 실험방법
3-1. 실험조건
3-2. 장비작동순서

4. analysis 및 고찰
4-1. Growth graphene on Au/Si(20nm)
4-2. Growth graphene on Si and SiO2
4-4. Growth graphene on scratched Si
4-5. Growth graphene on Au/Si(1nm) - H2 분위기
4-6. Ar gas를 이용하였을 때와 Ar/H2 gas를 이용하였을 때의 차이점
4-7. Ni 기판위에서의 Graphene

5. 결 론

차세대 전자소자를 위한 재료로 각광을 받고 있는 그라핀은 발견된 지 4년이 채 지나지 않았지만 세계적인 관심을 받으며 많은 연구가 이루어지고 있다 이와 관련하여 SiO2 위에서 graphene 소자를 만들 경우의 내외부적인 특성(特性) 한계에 대한 연구가 최근 Nature Nanotechnology에 발표되었다.

본 실험에서는 PECVD를 통하여 그라핀의 증착과정과 그 결과물에 대한 미세구조를 실험하였습니다.
이로 인하여 Graphene은 MIT가 선정한 올해 10대 未來(미래)기술로 선정되었으며 프린세톤 대학, 조지아공대에서 transistor 개발하였고, HP, IBM ,Intel 사에서도 연구가 진행되고 있다

2. theory 적 배경

2-1. 그라핀 (Graphene)

그라핀은 순수하게 탄소로만 이루어진 물질로서 우리 주위에서 흔히 볼 수 있는 흑연 및 다이아몬드 등과 유사한 물질이다. 여러분들에게 유용하게 활용이 되셨으면 합니다. 여러분들에게 유용하게 활용이 되셨으면 합니다. 많이 애용하시고 좋은 성적 받으시길 바랍니다. 많이 애용하시고 좋은 성적 받으시길 바랍니다. [재료공학]그라핀에대하여 , [재료공학] 그라핀(graphene)의 증착과 미세구조 관찰공학기술레포트 ,

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설명
[재료工學(공학) ]그라핀에대하여

,공학기술,레포트
다. 그라핀은 sp2로 결합된 탄소 원자들이 육각 모양으로 형성되어 있는 단일 원자 두께의 얇은 판상구조로 되어 있다 종이와 같은 2차원 평면 구조를…(skip)





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본 實驗(실험)에서는 PECVD를 통하여 그라핀의 증착과정과 그 결과물에 대한 미세구조를 實驗(실험)하였습니다. 여러 가지 advantage(장점) 을 가진 소자이지만 그 advantage(장점) 뿐 아니라 단점과 한계를 이해함으로써 실용 소자 제작 가능 여부를 알아볼 수 있고, 단점과 한계를 극복하면 더 빠른 시일 내에 이를 상용화시킬 수 있으니 이러한 연구에 주목을 해야할 것이다.
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